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MEMS 가스 센서 MPW 서비스

당사는 MEMS 가스 센서에 대한 MPW (Multi Project wafer) 서비스를 개시합니다.

 

많은 고객들이 MEMS 소자 개발을 하는데 있어서 초기 개발비에 상당한 부담을 안고 있습니다. 당사는 이러한 고객들의 부담을 덜어주고 소정의 비용으로 원하는 제품을 개발할 수가 있습니다.

예를 들면, 한 장의 마스크에 여러 회사의 디자인을 넣어서 공정을 진행하는 방안입니다. 8 개사가 참여하였을 경우 한 장의 마스크에 8 개 영역으로 나누어서 각 회사의 제품을 동시에 한 웨이퍼에서 제작할 수가 있습니다.

 

 

 

 

제작이 다 진행된 이후에는 각 회사의 제품만을 송부하게 되겠습니다. 물론 프로젝트를 진행 시 당사와 NDA 협약을 맺으면 되겠습니다.

 

다음은, 고객께서 MEMS 가스센서를 설계하는데 있어서 참조 사항입니다.

 

 

1. MEMS 가스 센서의 기본적 구조에 대한 설명입니다.

 

 

전체적인 구조가 멤브레인 구조이며, 4 개의 앵커로 멤브레인을 지탱하고 있습니다. 멤브레인 아래에는 공기층이 되며 히터를 통하여 쉽게 온도가 올라가고 유지토록 하는 구조입니다. 어느 정도의 일정한 온도에서 센싱이 잘 이루어집니다.  멤브레인은 기본적으로 5개층의 박막층으로 이루어져 있으며, 각 박막에 대한 물질은 위 그림과 같습니다.

 

 

2. MEMS 가스 센서의 시뮬레이션에 대한 설명입니다.

 

 

위 그림은 200 um × 200 um 크기의 정사각형 멤브레인 구조체에 열선으로 전력을 가해주었을 때 앵커를 통하여  열이 빠져나가는 형상을 모델링으로 나타내고 잇으며,  Pt 박막으로 된 열선의 길이, 선폭, 두께 파라미터를 넣어서 모의실험한 결과입니다. 약 15mW 정도의 전력으로 500 도 이상의 온도가 구현된 예입니다. (그림은 절대 온도로 나타나 있음.)

 

대부분 이 정도의 온도에서 가스 센싱 물질 (Sensing material) 이 반응을 나타내고 있습니다.

 

고객께서는 모의실험 단계에서 Cantilever 휨 정도, 항복 강도, 신뢰성 (reliability) 실험 후 마스크 설계를 진행하시면 되겠습니다. 모의실험과 마스크 설계를 당사에 의뢰하셔도 되겠습니다.

 

 

3. 레이아웃에 대한 간단한 설명입니다.

 

 

위 그림은 2 × 2 어레이형 MEMS 가스 센서의 마스크 레이아웃 설계를 실시한 예입니다. 마스크 설계 후 공정 순서를 고려하여 MEMS 가스 센서 박막 가공을 시작하게 됩니다.

 

위 사항을 참조하시어 고객께서는 MEMS 가스 센서에 대한 시뮬레이션과 레이아웃 설계를 진행하시어 당사에 계약금과 함께 보내 주시면, 몇 개사가 모이게 되면 제작해 드리겠습니다.

 

공정 순서는 마스크 제작에서부터 대부분의 공정을 국내외 파운드리 라인에서 제작이 되면 최종 공정인 가스 센싱 물질 (Sensing material) 은 고객께서 도포하시어 칩을 개발하시면 되겠습니다.

 

모의실험 레이아웃 포함 설계 용역 또는 MPW 서비스 신청 e-mail : nano@nano-i.com

 

전화 : 070-8827-9577 , 010-4293-9577

 


기술 개발

MEMS 설계, nano-MEMS 응용 (3차원 레이저 스캐너, 3차원 레이저 디스플레이, 수중 초음파 센서 및 회로 등) 기술 개발, 지능 영상, 기타 가능한 가용 지식을 적용한 서비스 관련 내용입니다. 계속 업데이트될 예정입니다.

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