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MEMS 기술 개발

나노 또는 MEMS 파운드리 서비스에 대한 설명입니다.

 

아래의 개발 순서와 같이 고객은 모델링 및 모의실험, 구조체 설계 초안을 구성 후,

나노아이사는 나노(nano) MEMS 공정 및 설계 규칙을 검토하여, 구조체 설계안 수정, 마스크 설계 및 패키지 설계를 진행하고 있습니다.

위와 같이 설계된 마스크를 제작하고, 파운드리 라인을 통하여 박막 가공 및 패키징 개발을 진행하게 되겠습니다.

 

 

아래는 단계별 나노 MEMS 부품 제작을 위한 기술 개발 항목 및 예시 제품의 순서별 개발 예입니다.

 

 

 

아래는 MEMS 또는 나노 박막 가공을 위한 플로우 챠트입니다. 설계하여 제작된 마스크가 핵심적인 역할을 하게 됩니다.

실리콘 등의 웨어퍼 표면에 원하는 물질 박막을 형성하고,  그 위에 포토레지스트를 도포하여 사진 현상 (리쏘그패피)하여 식각하는 공정을 순환하여 MEMS 또는 나노 MEMS 박막 가공을 실시하고 최종에는 릴리즈 공정으로 박막 형태의 초소형 정밀 기계가 제작됩니다.

 

 


1. MEMS (또는 나노) 부품에 대한 고객께서 요청한 모델링 및 모의 실험, 구조체 설계에 대한 설명입니다.

고객은 제품에 대한 아이디어와 초기 개념 정립을 하고 모의 실험 및 구조체에 대한 설계 초안을 완성합니다.

이러한 설계 초안을 당사에 제시하게 됩니다.

 

  예) 구동 거울  /열교환기용 마이크로 채널(고객 : 동경 대학교)

     

MEMS 구동 거울 초기 개념 (아이디어)                 열교환기용 마이크로 채널 (모의실험 및 설계 초안)                                

 

 

2.  고객의 아이디어 (전체 시스템 포함) 가 MEMS 또는 나노 공정과의 와의 인터페이스가 합당한지 검토하고 협의 후  구조체에 대한 설계안을 수정하고 마스크 및 패키지 설계를 진행하게 되겠습니다.

 

 아래는 오랜 노하우를 바탕으로 MEMS 박막 가공을 위한 마스크 설계 (좌: 구동 거울, 우: 열교환기용 마이크로 채널) 를 진행한 예입니다.

 

          

 

 

또한 고객과 협의하여 패키지 설계를 진행하게 됩니다.

 

 

 

3.  박막 가공 및 패키징 개발입니다.

 

     MEMS 또는 나노 부품 개발을위하여 당사는  박막 가공을 적절한 파운드리 라인을 선택해 개발을 진행합니다.

    

                           

   

 

** 고객께서 요청한 초안으로 MEMS 인터페이스 검토 및 설계 변경 후 초기 제품 제작하여 테스트 과정을 거쳐 최종 제품을 개발합니다.


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