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MEMS 기술 개발

MEMS 기술 개발 서비스의 개요에 대한 설명입니다.

 


1. 고객과의 개발 협의 및 수주입니다.

가) 개발하고자 하는 제품 검토 : 제품의 사양, 제작 가능성에 대하여 협의합니다.

나) 수주 및 계약금 입금 확인 : 목적은  설계 단계에서의 기본 성능 및 신뢰성 성능 검증입니다.

 


2. 계약 후 설계 단계에서의 기본 성능 및 신뢰성 성능 검증을 실시합니다.

가) 기본 설계 후 간단한 공정 시행  - 설계 파라미터를 추출합니다. 간혹 어디에서도 해보지 않았던 물질과 구조와 공정이 있을 수 있으므로 고객과 협의하여 TRIZ 를 적용한 모순을 극복한 창의적인 이상해결책을 구합니다..

나) 기본 성능 검증 - MEMS 설계 및 다구찌 실험 계획법을 사용하여 모의실험을 실시하되 고객과 전문가 집단과 역할 분담, 당사는 제작과 관련된 기본 성능을 검증합니다.

다) 신뢰성 성능 검증 - 모의 실험을 진행하되 고객 및 전문가 집단과 개발 역할 분담합니다.

라) 보고서를 고객에게 송부합니다.  고객은 소정의 금액으로 목적을 달성하고, 설계 단계에서 성능이 검증되고, 이 결과로 외부 펀드 가능하고 언제라도 제작 의뢰할 수 있습니다.

 


3. 고객은 초보 단계 실험 및 모의실험 결과를 보고 판단을 하여 중도금을 입금하게 되며 다음 단계를 진행합니다.

 


4. 레이아웃 : 일괄 공정 개발을 위한 마스크 설계 및 제작을 실행합니다.

 


5. MEMS 일괄 공정 개발

가) MEMS 제조용 실리콘 기판 (반도체 제조에도 사용) 의 특성은 아래와 같습니다.

 

 



나) 제조 공법에 대한 설명으로 벌크 마이크로 머시닝 (Bulk micromachining) 에 대한 내용입니다.


  1) 등방성 습식 식각 공정 (Bulk isotropic wet etching)


 

 

2) 비등방성 습식 식각 (Bulk anisotropicwet etching)

 

 

 

3) 아래는 기타 공정 과정에 대한 설명입니다.


 

 

 

다) 응용 제품에 대한 예시입니다.


1) 열적외선 센서 : 비접촉식 온도 센서 또는 8x8 어레이형 열상 센서

 

 

 

*** thermo-sensitive material 하부에 적외선 흡수 공동 (광학 박막의 원리로 90% 이상의 공명 흡수 구조) 이 있을 수 있음 --> 개발 문의 : nano@nano-i.com, 82-10-4293-9577

 

 


2) MEMS 구동 거울

 

 


  3) 기타 제품 : 압력 센서, 가속도 센서, 알콜 센서, 가스 센서 등.


 

 

다) 표면 마이크로 머시닝 (Surface micromachining)


   1) 공정 과정의 예 (micro-motor)


 

 

2) 제품의 예 : 자이로 센서, 마이크로 모터, 프로젝션 TV용 DMD, 기타......

 

 

 

 

TI 의 프로젝션 TV DMD (Digital Micro-mirror Device)

 

대우 전자의 TMA (Thin-film MIcro-mirror Array) : 오른쪽 위 화면은 1999 년 베를린 전시회

 

 

6. MEMS 일괄 공정 후 제품 인도 및 완료가 되면 고객은 잔금을 지급합니다. 그리고 제품 성능을 확인하여  제품 보완 등 다음 단계를 기획할 수 있습니다.


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