대면적 마이크로 렌즈 어레이용 금형 개발

대면적 마이크로 렌즈 어레이용 금형 개발에 대한 내용입니다.

 

일반적으로 마이크로렌즈어레이의 단위 렌즈 크기는 수마이크로미터 내지 수백마이크로미터 크기의 직경을 가지나,

당사가 개발한 대면적 마이크로렌즈 어레이용 금형은 렌즈의 크기가 수 mm 정도가 되며, 그 높이가 200 마이크로미터 내외입니다.

 

일반적인 기계식 가공으로는 이러한 대면적용으로는 매우 고가의 가격으로 제작이 가능하였으나, 당사는 간단히 반도체 공법으로 설계 및 제작을 하였습니다.

포토리쏘그래비 공법으로 패터닝을 하고 리플로우 방식으로 양각 패턴을 형성하고, 그 표면에 니켈을 도금하기 위한 Seed layer를 진공증착 또는 스퍼터링 공법으로

도포하는 과정에서 큰 곡률로 인한 응력으로 인하여 열팽창하는 과정에서 변형이 발생하여 그 표면 불균일도가 증가하는 것을 방지하기 위하여 니켈 대신 PDMS 금형을 개발하였습니다.

 

 

<마이크로렌즈 어레이용 PDMS 음각 금형 : 단위 셀 크기 3.2mm x 3.2 mm : 비닐 보호 커버가 씌워진 상태임>

 

 

본 기술의 응용 분야는 조명, 의료용 등으로 광범위하게 활용이 될 것이다.

 

다음 단계는 위 금형을 가지고 마이크로 렌즈 어레이를 제작하는 단계로  쿼츠 또는 글래스 표면에 마이크로렌즈어레이가 형성되겠습니다.

 

당사는 이러한 방식의 마이크로 렌즈 어레이 설계 및 제작을 위하여 광로 설계, 금형 제작, 렌즈 성형 단계에서 개발 또는 컨설팅 서비스를  진행하고 있습니다.

 

연락처 : nano@nano-i.com,  010-4293-9577